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行星減速機是一種使用廣泛的減速傳統設備，行星減速機主要是通過齒輪之間的配合來實現傳動精度的。減速機的精度一般也稱作減速機的背隙或回程間隙，行星減速機的回程間隙數值越低傳動精度越高，相對價格也越高。

關于行星減速機的回程間隙的具體測量方法沒有國際或者國家標準，具體檢測每個廠家都有自己的標準。目前行星減速機行業比較通用的檢測方法是將輸入端固定，使輸出端順時針和逆時針方向旋轉，當輸出端承受正負2%額定扭矩時，減速機輸出端的一個微小的角位移，此角位移即為回程間隙，也稱“背隙” 。單位是“弧分”，即一度的1/60。同時，每臺減速機的具體精度需要測量多個點來確定，同樣，每臺減速機精度測量的點數各個廠家也是不一樣的。

行星減速機為例，AB系列軸輸出的單價行星減速機精度為三種，標準精度（P2）精度為小于等于5弧分，高精度（P1）精度為小于等于3弧分，超高精度（P0）精度為小于等于1弧分。目前這個精度基本代表了世界行星減速機行業最高水平。

行星減速機精度單位“弧分”：

如回程間隙為1 arcmin 時,意思是在額定扭矩下工作的減速機轉一圈,輸出端的角偏差為1/60°以內。在實際應用中，減速機輸出偏差與軸直徑有關L=2·π·r·a°/360°。輸出端半徑為500mm時，減速機精度為3arcmin時，即a°=3/60，減速機轉一圈的偏差為L=0.44mm。